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湖南天羿领航出席MEMS传感器制造系列论坛

9月12日,SENSOR CHINA重磅打造“MEMS传感器制造系列论坛”在上海隆重举办,围绕MEMS制造前沿技术趋势、感知技术赋能中国高端制造业持续高质量发展、传感器制造、封装测试设计和应用各环节的发展趋势等话题展开深入探讨。


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湖南天羿领航生产负责人虢晓双经理受邀出席,以 “惯性传感器封装技术应用” 为主题进行了精彩演讲。惯性传感器作为检测和测量物体相对于惯性参考系运动状态变化的重要传感器,可感知并测量加速度、角速度、倾斜角度等物理量,涵盖加速度计、陀螺仪及其组合式传感器,广泛应用于航空航天、工业自动化、汽车电子、消费电子、医疗健康等诸多领域。

随着微机电系统(MEMS)技术的持续发展,惯性传感器性能不断提升,呈现出体积更小、成本更低、功耗更低、寿命更长的优势。在此背景下,对高精度陀螺仪和加速度计封装提出了高真空、低应力、高气密性等全新要求。

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演讲中,虢晓双详细介绍了硅硅键合、阳极键合、共晶键合等晶圆级键合以及陶瓷管壳、红外金属管壳等器件级封装方法在惯性传感器封装中的应用。同时,深入阐述了应力隔离封装、封装真空维持技术对惯性传感器性能与寿命的影响。此外,还介绍了国内外晶圆级封装前沿研究热点与发展趋势以及惯性微系统封装集成技术研究进展。


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湖南天羿领航一直致力于MEMS传感器技术的创新与发展,MEMS传感技术作为多学科交叉的前沿技术,此次在论坛上的精彩分享,充分展示了公司在MEMS惯性传感器领域的深厚实力与前沿探索。随着发展新质生产力持续走向深入,MEMS技术也将为国产装备制造业带来高附加值,助力国产装备制造在国际市场获得优势。

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