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真空计

产品简介

此产品是一种双质量块结构的MEMS谐振式真空计，实现了高真空测量仪表的小型化。真空计物理部分与专用ASIC电路集成，采用交流电压驱动、电容检测技术，通过监测输出电压变化反演压力值。

其体积小，可将测量下限延伸到高真空范围，具有极高的测试灵敏度，可满足嵌入式测量场景以及测量仪器小型化集成需求。高精度、宽量程、低功耗、重复性好的全国产自主真空计是一款颠覆性的产品，既可以测量粗真空、替代使用不便、精度差的国产产品，也可满足中高真空要求，替代高价格的进口产品。

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产品特点

性能指标

应用领域

产品特点

● 体积小

● 功耗低

● 灵敏度高

性能指标

应用领域

适用于超低真空的高精度真空计量。