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真空计
产品简介
此产品是一种双质量块结构的MEMS谐振式真空计,实现了高真空测量仪表的小型化。真空计物理部分与专用ASIC电路集成,采用交流电压驱动、电容检测技术,通过监测输出电压变化反演压力值。
其体积小,可将测量下限延伸到高真空范围,具有极高的测试灵敏度,可满足嵌入式测量场景以及测量仪器小型化集成需求。高精度、宽量程、低功耗、重复性好的全国产自主真空计是一款颠覆性的产品,既可以测量粗真空、替代使用不便、精度差的国产产品,也可满足中高真空要求,替代高价格的进口产品。
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产品特点
性能指标
应用领域
产品特点
●
体积小
●
功耗低
●
灵敏度高
性能指标
应用领域
适用于超低真空的高精度真空计量。
具体应用于光伏设备、半导体镀膜设备、军用真空管壳等领域。